干式真空泵

满足通用真空需求的领先技术。针对不同的要求和行业。

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ebara真空泵维修保养二手回收Model EST系列
来源: | 作者:Ebara真空泵维修 | 发布时间: 2021-02-02 | 6 次浏览 | 🔊 点击朗读正文 ❚❚ ▶ | 分享到:

Model EST系列

螺旋式真空泵 抽气速度：2,500-50,000L/min 适用于生成物较多的重制程 Model EST系列是新研发的独特干式真空泵，采用了螺旋式转子，适用于生成物较多的CVD制程。 具有高附加价值：容许流入气体量大，耐腐蚀性，可调节排气速度，高通信处理功能，适应了 电力功耗低的工艺要求。

特点:
● 最适用于生成物较多的制程
● 具备高性能通信功能
● 排气速度快，容许流入气体量大
● 采用高度控制泵运转方式
● 转速自动调节功能
● 不产生真空泵大型化所引起的搬运性能降 低的问题
● 可对应腐蚀性气体

Model EST系列
Model EST10N EST25N EST100WN EST200WN ESR300WN EST500W

Pumping Speed

(L/min)

1,000 2,500 10,000 20,000 30,000 50,000