干式真空泵

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ebara真空泵维修保养二手回收Model ESR系列
来源: | 作者:Ebara真空泵维修 | 发布时间: 2021-02-02 | 6 次浏览 | 🔊 点击朗读正文 ❚❚ ▶ | 分享到:

Model ESR系列

Model ESR系列

罗茨式干式真空泵
抽气速度：1,300 – 30,000L/min ESR系列是新研发的应用广泛的罗杆式干式真空泵，对于L/L，SEM等较轻负荷的制程和腐蚀性制程都可以使用。
性能上具有 排气速度可调节，高通信处理功能，从而适应了省功耗，占地面积小，重量轻的工艺要求。

特点:
● 最适合用于轻负荷的制程及腐蚀性气体制程
● 较低的运行成本，省功耗，最大可节省60%（与本公司Model AA系列相比较）
● 无需N2来做轴密封（Model ESR20N）
● 小型化，重量轻，最大减少40%（ 与本公司Model AA系列相比较）
● 增加泵的转速控制 ● 高性能的通信机能
● 采用高度控制泵的运转方式

Model ESR系列
型号 单位 ESR20N ESR80WN ESR200WN ESR300WN
抽气速度 50/60 Hz L/min 1,300 – 2,000 4,000 – 8,500 10,000 – 20,000 30,000
底压 50/60 Hz Pa 0.67 0.2 0.13 0.2
到达底压 时的功率 KW 0.55 – 0.70 0.8 – 1.9 0.8 – 1.1 2.9
外型尺寸 mm 635 x 280 x 320 660 x 380 x 655 790 x 380 x 644 825 x 460 x 880
重量 kg 90 180 250 390