干式真空泵

满足通用真空需求的领先技术。针对不同的要求和行业。

设计，为更有效传播
INEWS / 新闻中心
ebara真空泵维修二手回收Model ESA系列
来源: | 作者:Ebara真空泵维修 | 发布时间: 2021-02-02 | 6 次浏览 | 🔊 点击朗读正文 ❚❚ ▶ | 分享到:

Model ESA系列

罗茨真空泵 抽气速度：30,000L/min 适合轻制程 Model ESA系列是新研发的独特干式真空泵，具有优 越的高速排气性能，从而适应了LCD溅射制膜 装置，真空干燥制程，大型 L/L等工艺要求。并拥有高附加价值，对应气体 负荷自动控制转速，高通信功能等。

特点:
● 最适用于大型真空反应室的高速排气
● 具有高性能通信机能
● 转速自动调节功能
● 采用高度控制泵运转方式
● 采用大口径转子，设计上完美小型
● 不产生真空泵大型化所引起的搬运性能降低
● 也可用于有机溶剂排气上用的特别规格

Model ESA系列
Model ESA15-D ESA25-D

ESA70W(-D)

ESA70WN(-D)

ESA80W-HDF

ESA80WN-HDF

ESA100W

ESA100WN

ESA200W ESA300W ESA500W

Pumping-Speed

(L/min)(50Hz/60Hz)

1,400/1,700 2,500/3,000 7,000/8,400 8,400 10,000 20,000 28,000/30,000 47,000/50,000

*Typical

Application

MO-CVD -Large volume load lock-

Other clean vacuum