干式真空泵

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EBARA EV-S200干式真空泵保养
来源: | 作者:Ebara真空泵维修 | 发布时间: 2021-02-04 | 6 次浏览 | 🔊 点击朗读正文 ❚❚ ▶ | 分享到:

EBARA EV-S干式真空泵应用：
SEM
Ion Implant
Ashing
Load Lock
MetalPDV
Dielectric ETCH



EBARA EV-S200干式真空泵技术参数：

Units

EV-S200

EV-S200P

EV-S200N

Max Pumping Speed

CFM

706.2

706.2

706.2

L/min

20,000

20,000

20,000

m3/Hr

1200

1200

1200

Ultimate Pressure

Torr

3.75E-02

3.75E-02

3.75E-02

Pa

0.5

0.5

0.5

mBar

0.005

0.005

0.005

Connection

Gas Inlet

ISO100

ISO100

ISO100

Gas Outlet

NW40

NW40

NW40

Power at Ultimate Pressure

KW

0.75

0.75

0.75

Maximum Power

KW

5.1

5.1

5.1

Cooling Water Requirements

L/min

2.0 - 3.0

2.0 - 3.0

2.0 - 3.0

Cabinet Dimensions

inches

25.6 x 10.8 x 24

25.6 x 10.8 x 24

25.6 x 10.8 x 24

Size (LxWxH)

mm

650 x 275.1 x 610.1

650 x 275.1 x 610.1

650 x 275.1 x 610.1

Weight

lbs

374.8

374.8

374.8

kg

170.0

170.0