干式真空泵

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日本荏原EBARA EV-S20真空泵保养
来源: | 作者:Ebara真空泵维修 | 发布时间: 2021-02-04 | 6 次浏览 | 🔊 点击朗读正文 ❚❚ ▶ | 分享到:

EBARA EV-S干式真空泵应用：
SEM
Ion Implant
Ashing
Load Lock
MetalPDV
Dielectric ETCH


EBARA EV-S20干式真空泵技术参数：

Units

EV-S20

EV-S20P

EV-S20N

Max  Pumping Speed

CFM

59

59

59

L/min

1670

1670

1670

M3/Hr

100

100

100

Ultimate  Pressure

Torr

2.25E-02

3.75E-02

3.75E-02

Pa

3

5

5

mBar

0.03

0.05

0.05

Connection

Gas  Inlet

NW50

NW50

NW50

Gas  Outlet

NW25

NW25

NW25

Power at  Ultimate Pressure

KW

0.4

0.4

0.4

Maximum  Power

KW

2.2

2.2

2.2

Cooling  Water Requirements

L/min

1.5 -  3.0

1.5 -  3.0

1.5 -  3.0

Cabinet  Dimensions

inches

17.7 x  9.1 x 10.8

17.7 x  9.1 x 10.8

17.7 x  9.1 x 10.8

Size  (LxWxH)

mm

451 x  230 x 274

451 x  230 x 274

451 x  230 x 274

Weight

lbs

132.3

132.3

132.3

kg

60

60