干式真空泵

满足通用真空需求的领先技术。针对不同的要求和行业。

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EBARA ESA25S干式真空泵
来源: | 作者:Ebara真空泵维修 | 发布时间: 2021-02-07 | 75 次浏览 | 分享到:

Pumping Speed 50/60 Hz

CFM
L/min
M3/Hr

88/106
2500/3000
150/180

Ultimate Pressure 50/60 Hz

mTorr
Pa
mBar

38/30
5.3/4.0
0.053/.04

Connection

Gas Inlet

NW 50

Gas Outlet

NW 40

Power at Ultimate Pressure

KW

 

Maximum Power

KW

 

Cooling Water Requirements

Min. Flow Rate
L/min

3.5

Bearing and Dilution N2

Bearing Seals
L/min

11

Cabinet Dimensions
LxWxH

inches
mm

35.4 x 15.5 x 19.7
900 x 394 x 500

Weight

lbs
kg

528
240