干式真空泵

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EBARA ESA70W干式真空泵
来源: | 作者:Ebara真空泵维修 | 发布时间: 2021-02-07 | 66 次浏览 | 分享到:

Pumping Speed 50/60 Hz

CFM
L/min
M3/Hr

274/296
7000/8400
420/504

Ultimate Pressure 50/60 Hz

mTorr
Pa
mBar

3/2
0.4/0.27
0.004/0.0027

Connection

Gas Inlet

NW 50

Gas Outlet

NW 40

Power at Ultimate Pressure

KW

 

Maximum Power

KW

 

Cooling Water Requirements

Min. Flow Rate
L/min

3.5

Bearing and Dilution N2

Bearing Seals
L/min

15

Cabinet Dimensions
LxWxH

inches
mm

39.3 x 15.7 x 31.5
997 x 400 x 800

Weight

lbs
kg

836
380