干式真空泵

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日本荏原ESA200W干泵维修
来源: | 作者:Ebara真空泵维修 | 发布时间: 2021-02-04 | 7 次浏览 | 🔊 点击朗读正文 ❚❚ ▶ | 分享到:
产品详情

APPLICATIONS
(For Model ESA200-500) Ideal for large-volume atmospheric, load lock processes
(For Model ESA25-100) Ideal for light gas pumping MOCVD processing


EBARA ESA200W真空泵技术参数：

Pumping  Speed 50/60 Hz

CFM
 L/min
 M3/Hr

706
 20000
 1200

Ultimate  Pressure 50/60 Hz

mTorr
 Pa
 mBar

0.00004
 0.53
 0.0053

Connection

Gas  Inlet

ISO  100

Gas  Outlet

NW 40

Power  at Ultimate Pressure

KW

3.4

Maximum  Power

KW

7.5

Cooling  Water Requirements

Min.  Flow Rate
 L/min

3.5

Bearing and Dilution N2

Bearing  Seals
 L/min

10

Cabinet  Dimensions
 LxWxH

inches
 mm

36.2  x 16.0 x 30.0
 920 x 400 x 760

Weight

lbs
 kg

904
 410