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电离真空计使用和常见故障判断处理
来源: | 作者:Ebara真空泵维修 | 发布时间: 2021-02-08 | 1256 次浏览 | 分享到:

Edwards电离真空计的使用

(1)安装。安装使用热阴极电离计时,“电源”开关置断位置,用五芯缆线将电离规管与仪器连接,将鳄鱼夹子夹在规管的收集极上,香蕉插头与仪器背面的“离子”座相接。

(2)除气。打开电源开关,预热10min,当真空度高于10^-2Pa时,打开“除气”开关,除气时间一般为1~2min,在除气时电离规管的栅极较红热。当真空度低于10^-2Pa时,不能进行除气操作,以防损坏真空规管。除气完毕后关闭“除气”开关,打开“测量”开关,进行真空测量。

(3)使用注意事项。

1)当被测系统的真空度低于0. IN时,不能接通电离真空计,否则会烧坏电离真空规管。

2)电离真空计暂时不用时,需断开电离计电源,否则会影响电离真空规管的寿命。

3)电离规管如果装在管路上,这时由于管道阻力影响,管路中各点压力不同。规管安装距真空泵越近,测得真空度要高些,离泵越远测得真空度要低些。

4)电离规管的放气和吸气都会造成气体压强的变化,影响测量的准确度,在测量前一定要进行除气操作。

5)测量的灵敏度与气体的种类有关。

6)电离规管安装时应竖直安装,否则在加热除气进行烘烤时,栅极和阴极易产生变形,相对位置变化,将会严重影响测量精度。

7)在不要求连续记录真空度随时间变化的场合,应注意随时关掉电离规管灯丝开关,在真空度较低时更应如此,以延长灯丝的使用寿命。

电离真空计常见故障判断处理

以下给出了电离真空计常见故障和处理方法,部分内容也可供检查其他类型真空计故障时参考。

故障现象一:规管灯丝不能点亮

解决方案:(1)检查规管灯丝是否断开;

(2)检查规管连线是否接好;

(3)检查规管连接线是否错接;

(4)检查电源是否接通

故障现象二:仪器不显示

解决方案:(1)检查离子收集极是否接好;

(2)检查规管是否点亮;

(3)用手点触离子收集极,显示是否反应,反应为正常,不反应则真空计本身出现故障;

(4)确认真空系统是否超过测最范围

故障现象三:显示数值不稳定

解决方案:(1)检查离子收集极是否与系统其他物体有接触;

(2)取下离子收集极.丑于悬空状态,显示是否稳定;若不稳定则是真空计本身出现问题;若稳定,则说明是真空系统漏气所致;

(3)用未开封的真空规管点亮,测其真空度,显示是否稳定,若不稳定则是真空计本身出现问题;若稳定,则说明是真空系统漏气所致